数控多晶硅硅芯多线切割机床
非接触式线锯导轮槽型检测仪
MK8940 数控线锯导轮开槽磨床
绿色多晶硅还原炉电气系统
硅芯加工磨床
蓝宝石晶体单多线摇摆切割机系列
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固结磨料钻石研磨垫
Solid abrasive diamond abrasive pad
 
 
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SDMX-2012 省线型蓝宝石多线摇摆切片机
   

  现在欧美和日本的金刚石线锯基本占据了国内的大部分市场,但使用情况并不十分完美,主要体现在收放线轮直径过小,造成线在高速地往复运动时相互挤压,导致金刚石颗粒脱落,切割能力下降。很大一部分金刚石颗粒没起到切割作用就自己挤压脱落,根本达不到金刚石线生产厂家宣称的切割能力,使得切割用线量大大上升,切割成本无法进一步降低。
  日产典型的摇摆切割机,其原理为待切割的蓝宝石晶棒不摇摆,切割主导轮摇摆的方案,其切割主导轮采用了单端固定的方案,使得其在高的线速度运行时的稳定性不好,所以限制了其的线速度仅为600米/分,未能充分发挥金刚石线的效能,并且其导线轮直径较小,对线的损伤较大,但此机型切割质量很好。目前国内的几个生产厂家基本是仿制其产品。
  还有一种工件摇摆的多线切割机,其原理为待切割的蓝宝石晶棒工件摇摆,切割主导轮不摇摆的方案,切割线速度可以达到900米/分,但切割出的晶片质量不如日产典型的线网摇摆切割机。
  综上所述,金刚石线在高速地往复运动时相互挤压使金刚石颗粒脱落使得切割能力下降,循环次数越多,损伤越大,而采用大导线轮,减少导线轮数量,以及加大收放线工字轮直径,减少卷绕的互相挤压,可以降低用线量,减少切割成本。
  我公司研发的省线型蓝宝石多线摇摆切片机,目的在于克服上述不足之处,采用了整体铸件导轮双端固定,双交叉滚珠摇摆,达到了极高的高速稳定性,从而能够降低蓝宝石单晶体切割加工的成本,提高加工的效益。

主要技术指标:

切割工件规格 φ160×300mm
槽轮 P.C.D 215±5×340×2轴
轴间距离(水平) 260mm
槽的小间距 0.3mm
主轴旋转数 max 2000rpm
工作台升降行程 max 400㎜
切割时切入速度 0.01~100㎜/min可调
快速上升速度 0.01~300㎜/min可调
使用线径 外径φ0.13~φ0.35㎜
线轴贮线量 30km / 卷
张力可调范围 5-50N
线摇摆角度 0~ ±7度
线摇摆速度 1~999度/min
线速 1200m/min
平均线速 900m/min
往返数(可变) 可任意设定
新线供给量 可任意设定
绕线工字轮小直径 φ285mm
导线轮数量 总数8个(少化设计)
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